YZ1350EBI 光學真空鍍膜機 |
|
真空室內腔尺寸:φ1350mm*H1500mm |
真空系統(tǒng):分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵 |
晶控:MXC-3B +六探頭 |
蒸發(fā)源:單槍/雙槍+旋轉定阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復真空:2x10-3Pa ≤15min |
加熱溫度:最高300℃ |
選件:RF離子源 /霍爾源、POLYCOLD、固定阻蒸 |
電源:三相 380V 50HZ |
設備重量:約4T |
真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |
YZ1350EBI 光學真空鍍膜機 |
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真空室內腔尺寸:φ1350mm*H1500mm |
真空系統(tǒng):分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵 |
晶控:MXC-3B +六探頭 |
蒸發(fā)源:單槍/雙槍+旋轉定阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復真空:2x10-3Pa ≤15min |
加熱溫度:最高300℃ |
選件:RF離子源 /霍爾源、POLYCOLD、固定阻蒸 |
電源:三相 380V 50HZ |
設備重量:約4T |
真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |