真空室內(nèi)腔尺寸：φ1550mm*H1600mm

真空系統(tǒng)：擴散泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD

晶控：MXC-3B +六探頭

蒸發(fā)源：雙槍+固定阻蒸

空載極限真空：8.0x10^-5Pa

空載恢復真空：2x10^-3Pa ≤15min

加熱溫度：最高300℃

選件：RF離子源  /霍爾源

電源：三相   380V    50HZ

設備重量：約7T

真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制