YZ-2050EBI 光學(xué)真空鍍膜機 |
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真空室內(nèi)腔尺寸:φ2050mm*H1650mm |
真空系統(tǒng):擴散泵+雙極旋片泵+羅茨泵+維持泵+POLYCOLD |
晶控:MXC-3B +六探頭 |
蒸發(fā)源:雙槍+固定阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
加熱溫度:最高250℃ |
選件:離子源 /旋轉(zhuǎn)阻蒸 |
電源:三相 380V 50HZ |
設(shè)備重量:約11T |
真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |
YZ-2050EBI 光學(xué)真空鍍膜機 |
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真空室內(nèi)腔尺寸:φ2050mm*H1650mm |
真空系統(tǒng):擴散泵+雙極旋片泵+羅茨泵+維持泵+POLYCOLD |
晶控:MXC-3B +六探頭 |
蒸發(fā)源:雙槍+固定阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
加熱溫度:最高250℃ |
選件:離子源 /旋轉(zhuǎn)阻蒸 |
電源:三相 380V 50HZ |
設(shè)備重量:約11T |
真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |