YZ-1300IBS 離子束濺射鍍膜機 |
|
真空室內(nèi)腔尺寸:φ1300mm*H1250mm |
真空系統(tǒng):分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD |
靶材系統(tǒng):多靶位自動旋轉(zhuǎn) |
濺射源:雙RF源 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
設(shè)備電源:三相 380V 50HZ |
設(shè)備重量:約5T |
真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |
YZ-1300IBS 離子束濺射鍍膜機 |
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真空室內(nèi)腔尺寸:φ1300mm*H1250mm |
真空系統(tǒng):分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD |
靶材系統(tǒng):多靶位自動旋轉(zhuǎn) |
濺射源:雙RF源 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa |
空載恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
設(shè)備電源:三相 380V 50HZ |
設(shè)備重量:約5T |
真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |