YZ 500-2700 型 光學(xué)真空鍍膜機(jī) | |
真空室內(nèi)腔尺寸: φ500mm-φ2700mm | 真空系統(tǒng):擴(kuò)散泵/分子泵/冷泵+雙極旋片泵+羅茨泵+維持泵+POLYCOLD |
晶控:XTC-3S/MXC-3B +六探頭/單探頭/雙探頭 | 蒸發(fā)源:電子槍+固定阻蒸/旋轉(zhuǎn)阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa | 恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
加熱溫度:最高300℃ | 選件:離子源 |
電源:三相 380V 50HZ | |
真空鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |
YZ 500-2700 型 光學(xué)真空鍍膜機(jī) | |
真空室內(nèi)腔尺寸: φ500mm-φ2700mm | 真空系統(tǒng):擴(kuò)散泵/分子泵/冷泵+雙極旋片泵+羅茨泵+維持泵+POLYCOLD |
晶控:XTC-3S/MXC-3B +六探頭/單探頭/雙探頭 | 蒸發(fā)源:電子槍+固定阻蒸/旋轉(zhuǎn)阻蒸 |
空載極限真空:8.0x10-5Pa | 恢復(fù)真空:2x10-3Pa ≤10min |
加熱溫度:最高300℃ | 選件:離子源 |
電源:三相 380V 50HZ | |
真空鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制 |