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友臻科技
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YZ-700DLC類金剛石沉積設備

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用途：主要用于在硫化鋅、硅、鍺表面鍍類金剛石碳膜（DLC膜）
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產(chǎn)品詳情

YZ-700DLC類金剛石沉積設備-1.pngYZ-700DLC類金剛石沉積設備-2.png


YZ-700DLC 類金剛石沉積設備

真空室內(nèi)腔尺寸：：φ700mm*H500mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

靶源：水冷銅陰極靶+

              304水冷陽極靶

射頻源：RF電源（13.56MHZ）

                   1 KW-1.5KW

空載極限真空：8.0x10-5Pa

空載恢復真空：2x10-3Pa ≤15min

設備電源：三相   380V    50HZ

設備重量：約1.5T

真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制


YZ-700DLC類金剛石沉積設備
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13308020865
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YZ-700DLC 類金剛石沉積設備

真空室內(nèi)腔尺寸：：φ700mm*H500mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

靶源：水冷銅陰極靶+

              304水冷陽極靶

射頻源：RF電源（13.56MHZ）

                   1 KW-1.5KW

空載極限真空：8.0x10-5Pa

空載恢復真空：2x10-3Pa ≤15min

設備電源：三相   380V    50HZ

設備重量：約1.5T

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