真空室內(nèi)腔尺寸：φ600mm*H500mm

工轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：多位公自轉(zhuǎn)裝置

靶源：矩靶/圓靶/柱靶

加熱方式：鎧裝加熱器

電源：DC電源/MF電源/RF電源（13.56MHZ）

設(shè)備電源：三相   380V    50HZ

真空系統(tǒng)：雙極旋片泵+分子泵

設(shè)備冷卻水：0.2-0.4Mpa

空載極限真空：8.0x10^-5Pa

設(shè)備壓縮空氣：0.4-0.8Mpa

空載恢復(fù)真空：3x10^-3Pa≤10min

設(shè)備重量：約2.0T

磁控濺射鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、靶及電源配置等可根據(jù)客戶(hù)的工藝要求量身定制