真空室內(nèi)腔尺寸：φ860mm*H400mm

真空系統(tǒng)：分子泵+雙極旋片泵

蒸發(fā)源：4路獨(dú)立阻蒸（8V/400A）

工轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：21個(gè)翻轉(zhuǎn)架               （自動(dòng)調(diào)整角度）

空載極限真空：8.0x10^-5Pa

空載恢復(fù)真空：2x10^-3Pa ≤10min

離子轟擊：0-3KV,0-200mA

 選件：膜厚儀

設(shè)備電源：三相   380V    50HZ

設(shè)備重量：約1.5T

真空鍍膜機(jī)的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制