一、鍍膜過程中膜厚讀數(shù)出現(xiàn)大的跳動的原因及分析

1. 晶振片損壞導(dǎo)致模式跳躍。

解決方法：更換全新的晶振片。

2. 膜料應(yīng)力過大，導(dǎo)致鍍膜層從晶振片表面剝離，形成翹層。

解決方法：更換全新的晶振片。

3. 來自蒸發(fā)源（坩堝）的微顆?；驗R射物、雜質(zhì)打擊到晶振片上。

解決方法：在鍍膜前徹底清理蒸發(fā)源的材料雜質(zhì)，預(yù)融時延長擋板打開時間。

4. 晶振片的基座（探頭帽）表面存在小顆粒或外來微粒（基座異常）。

解決方法：使用弱酸清洗或拋光基座表面，確保晶振片與底座接觸良好。

5. 小塊材料落在晶振片上（晶振片一面面向蒸發(fā)源）。

解決方法：檢查晶振片表面是否有顆粒雜質(zhì)，使用清潔氣體將其吹凈。

二、鍍膜過程中晶體停止振蕩的原因及分析

1. 原因：來自蒸發(fā)源的微?；颉盀R料”“雜質(zhì)”打擊晶體。

   解決方法：在鍍膜前徹底清理蒸發(fā)源的材料雜質(zhì)，并延長擋板打開時間。

2. 原因：晶振片基座(探頭帽)上膜料厚積，掩蓋了晶振片露出的監(jiān)測孔。

   解決方法：使用弱酸清洗晶振片基座(探頭帽)。

3. 原因：存在電路短路或開路。

   解決方法：使用萬用表檢查傳感器電纜到膜厚儀中間的連接，確保電纜沒有松動，各連接件的接觸良好，接觸彈片正常，傳感器內(nèi)部連接線以及饋入件的電連通。

4. 原因：由于高溫產(chǎn)生的電路短路或開路。

   解決方法：使用萬用表檢查傳感器電纜到膜厚儀中間的連接，確保電纜沒有松動，各連接件的接觸良好，接觸彈片正常，傳感器內(nèi)部連接線以及饋入件的電連通。

三.晶體不振蕩或間歇振蕩(在真空或大氣中)的原因及分析

1.彈片與晶振片之間間歇接觸或接觸不良(接觸點氧化)。

解決方法：使用萬用表檢查電連通情況，阻值應(yīng)小于1歐姆，清洗彈片接觸點。

2.彈片已經(jīng)失去彈力，變形，或斷腳現(xiàn)象，以及彈片與陶瓷圈之間松動。

解決方法：將彈片扳彎角度大約45度，或者更換新的陶瓷三角片。

3.來自蒸發(fā)源的射頻干擾。

解決方法：檢查接地線，使用符合射頻接地的接地銅帶，改變儀器與振蕩器的位置，遠離射頻電源線，將儀器連接到不同的供電電源。

4.電纜/振蕩器沒有連接好，或者連接到錯誤的傳感器輸入端。

解決方法：檢查連接和與編程的傳感器參數(shù)相關(guān)的輸入是否正確。

四.晶體在真空中振蕩，但在大氣中停止振蕩的原因及分析

1.晶振片接近終止壽命，當暴露在空氣中時，膜層會氧化并增加應(yīng)力。

解決方法：更換新的晶振片。

2.破真空時，大量潮氣會聚集在晶振片表面，可能是由于冷卻水流量小或冷卻效果不佳所致。

解決方法：在系統(tǒng)破真空之前，延長冷卻時間；定期保養(yǎng)冷卻水管，使用弱酸或壓縮空氣清除內(nèi)壁水垢。

"五. 在晶體中，振蕩在大氣中進行，但在真空中停止的原因及分析

1. 這種現(xiàn)象是由于探頭基座（無論是單個探頭還是多個探頭）內(nèi)部的接觸彈片變形、斷裂或接觸不良，而不是晶振片本身的問題。

解決方法：檢查晶振片探頭的接觸部位，更新或使用鑷子進行調(diào)整，以確保良好接觸。

2. 當離子源未調(diào)節(jié)好時，會導(dǎo)致過量的帶電離子瞬間擊穿晶振片，在晶振片表面形成點擊花紋。

解決方法：調(diào)節(jié)中和器，使帶電離子充分中和為分子。"